臭氧發生器的發生室及部分設備電源柜內的電力器件需要進行水冷卻，冷卻水要求：進水溫度一般應控制在15-25℃之間，效果較好，但最高溫度不能超過35℃，在此最高溫度下設備指標將有所降低。水量：空氣源每公斤臭氧3-4m3/h，氧氣源每公斤臭氧2m3/h。

業主自供合格冷卻水

直接冷卻臭氧發生器的冷卻水應滿足以下條件：PH值不小于6.5且不大于8.5，氯化物含量不高于250mg/L，最好不大于100mg/L，總硬度（以CaCO3計）不高于450mg/L，渾濁度（散射渾濁度單位）不高于1NTU。

閉路循環冷卻水系統

若業主提供不了上述要求的冷卻水，可采用板式換熱器，形成閉路循環冷卻水系統。

采用板式換熱器換熱的冷卻水系統分為內循環系統和外循環。內循環為閉路循環，內循環水采用純水，注滿整個系統。外循環采用業主現場的冷卻水，冷卻水須滿足：壓力≤0.2Mpa，溫度為≤25℃。整套冷卻水系統包括內循環水泵、外循環水泵（由業主提供）、換熱器、膨脹罐及閥門等。

主要設備的組成及作用：

板式換熱器	通過外部冷卻水冷卻臭氧發生器冷卻水。
循環水泵	臭氧發生器冷卻水循環。
膨脹罐	冷卻水系統補水、壓力平衡。
壓力開關	冷卻水系統壓力不足或超壓報警。
工藝閥門	冷卻水系統中板式換熱器和水泵組件的工藝閥門。

閉路循環冷卻水系統流程圖